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内蒙古大全半导体取得用于半导体级多晶硅的置换装置专利提高工作效率

发布日期:2024-12-29 04:16 浏览次数:

  金融界 2024 年 11 月 27 日消息,国家知识产权安博体育官网 安博体育首页局信息显示,内蒙古大全半导体有限公司取得一项名为“一种用于半导体级多晶硅的置换装置”的专利,授权公告号 CN 222048607 U,申请日期为 2024 年 3 月。

  专利摘要显示,本实用新型涉及多晶硅生产技术领域,且公开了一种用于半导体级多晶硅的置换装置,包括固定组件,固定组件包括:还原炉尾气管道外侧设置有压力变送器;电动阀门设置于还原炉尾气管道的一端;第一连接管设置于电动阀门的一侧;吸气阀设置于第一连接管的顶部;第一连接管的外侧设置有真空置换组件,真空置换组件包括:L 型分流管设置于第一连接管的外侧;罗茨泵设置于 L 型分流管的一端;第一分流管设置于罗茨安博体育官网 安博体育首页泵的一侧;缓冲罐设置于第一分流管的一端,并与第一连接管的一端固定连接;前级水环式真空泵设置于缓冲罐的一侧,通过设置真空置换组件提高了还原炉内的的真空度满足满足半导体级多晶硅对于物料的洁净度要求,提高了工作效率。

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